SF6, atau sulfur hexafluoride, adalah gas yang biasa digunakan dalam etsa kering, terutama digunakan untuk etsa silikon dalam proses produksi semikonduktor. Gas SF6 memiliki struktur oktahedral, terdiri dari atom belerang pusat yang dikelilingi oleh enam atom fluor. Sifat non-polarnya menjadikannya gas isolasi pada peralatan listrik bertegangan tinggi. Sifat fisik SF6 antara lain tidak berwarna, tidak berbau, tidak mudah terbakar, tidak beracun, isolasi, lebih berat dari udara, kapasitas pendinginan, kekuatan dielektrik tinggi, stabilitas termal, dan kelarutan buruk dalam air tetapi larut dalam pelarut organik non-polar.
Dari segi sifat kimianya, SF6 hampir tidak bereaksi dengan zat lain pada suhu kamar, tetapi akan terurai di bawah sinar ultraviolet yang kuat.
SF6 umumnya diproduksi oleh industri dan isinya di alam sangat kecil. Persamaan reaksi untuk produksi SF6 adalah:
2 cof₃ + sf₄ + [br₂] → sf₆ + 2 cof₂ + [br₂]
Ketika SF₄, COF₃ dan BR₂ dicampur bersama dan dipanaskan pada 100 derajat, reaksi terjadi di antara mereka. Dalam reaksi ini, bagian dari SF₄ dan COF₃ bereaksi untuk menghasilkan SF₆ dan COF₂. Bromin tidak dikonsumsi dalam reaksi, itu hanya bertindak sebagai katalis.
Apakah SF6 berbahaya?
Meskipun SF6 tidak beracun dalam keadaan murni, ia akan menggusur oksigen dari udara, dan konsentrasi volume yang lebih besar dari 19% di udara akan menyebabkan mati lemas. Oleh karena itu, sangat penting untuk mendeteksi kebocoran SF6 secara tepat waktu dan mengambil tindakan pencegahan yang tepat dalam proses pembuatan semikonduktor.
SF6 digunakan dalam industri semikonduktor
SF6 banyak digunakan dalam manufaktur semikonduktor. Dalam proses etsa silikon, SF6 digunakan sebagai gas etsa utama, dan bekerja sama dengan gas volatil yang dihasilkan SF4 dan C4F8 untuk menghasilkan etsa silikon dalam. Selain itu, SF6 sering digunakan untuk etsa kering logam Mo dan W, bereaksi dengan logam ini menghasilkan heksafluorida MoF₆ dan WF₆ yang mudah menguap. Meskipun SF6 bukan gas pilihan untuk etsa aluminium, SF6 dapat digunakan sebagai gas tambahan untuk meningkatkan laju etsa aluminium bila dicampur dengan gas seperti Cl₂.
Pengetsaan Silikon
Pada langkah pengetsaan silikon, hanya silikon di bagian bawah tempat film pasivasi dihilangkan yang akan tergores. Gas SF6 dimasukkan, dan SF6 dipisahkan dalam plasma untuk menghasilkan berbagai produk dekomposisi, termasuk atom fluor (F) yang sangat aktif.
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Atom fluor yang dihasilkan bereaksi dengan permukaan silikon untuk menghasilkan silikon tetrafluoride (SIF4), senyawa volatil yang mudah dikeluarkan dari ruang.
Si+4F-->SiF4
Etsa lapisan pasif bawah
Pada tahap ini, lapisan pasivasi terbentuk pada dinding samping dan bawah. Namun, kita hanya ingin menjaga lapisan pasivasi pada dinding samping untuk melindungi dinding samping agar tidak tergores, namun kita perlu menghilangkan lapisan pasivasi di bagian bawah agar dapat mengetsa ke bawah. Oleh karena itu, gas SF6 akan dimasukkan saat ini untuk menyerang lapisan pasivasi di bagian bawah. Setelah lapisan pasivasi di bagian bawah menghilang, SF6 terus mengetsa silikon, dan siklus berulang, seperti putaran yang tidak pernah berakhir.
Pabrik satu atap SF6 Sulfur Hexafluoride di Cina
Kirimkan pertanyaan Anda tentang gas Sulfur heksafluorida SF6 kepada kami!
Kami akan menyediakan gas dan layanan SF6 berkualitas tinggi untuk memenuhi kebutuhan pembelian Anda.
Kirim pertanyaan sekarang
