FFKM merupakan material penyegel berkinerja tinggi. Performanya yang luar biasa telah memungkinkan penerapannya untuk merambah ke seluruh sistem produksi produk semikonduktor. Di antara semuanya, cincin penyegel FFKM merupakan salah satu bahan habis pakai utama yang dibutuhkan untuk produksi sirkuit terpadu.
struktur dan karakteristik kinerja FFKM
FFKM dikopolimerkan oleh tetrafluoroetilena (TFE), perfluoroalkil vinil eter (PAVE) sebagai monomer utama, dan sejumlah kecil monomer titik pengerasan (CSM). Seperti yang ditunjukkan pada gambar di bawah, semua atom karbon dalam polimer Atom hidrogen pada karet semuanya digantikan oleh atom fluor, sehingga menjadikannya karet yang tidak mengandung ikatan CH sama sekali.
Fitur kinerja utama FFKM:
1) Sifat Fisik
Kepadatan FFKM adalah 1.9-2.0g/cm³. Sifat mekanis suhu normalnya mendekati sifat mekanis fluororubber berbasis vinilidena fluorida (VDF), tetapi sifat mekanis suhu tingginya lebih baik daripada fluororubber.
2) Tahan terhadap bahan kimia
Tidak ada atom hidrogen dalam rantai molekul FFKM, dan ikatan CC pada dasarnya dikelilingi oleh cangkang yang terdiri dari atom F, menunjukkan kelembaman kimia yang kuat dan membuat polimer secara signifikan tahan terhadap bahan kimia.
3) Tahan suhu tinggi dan rendah
Suhu operasi FFKM umumnya 260~290 derajat, dan dapat digunakan sesekali pada suhu tinggi 316 derajat. Karena sejumlah besar gugus -OCF3 dimasukkan ke dalam rantai cabang molekul, fleksibilitas molekul ditingkatkan dan ketahanan karet terhadap suhu rendah ditingkatkan.
4) Resistensi plasma
Dalam lingkungan plasma, ia menunjukkan karakteristik produk berupa kebersihan tinggi dan presipitasi rendah, serta dapat menahan pemboman plasma untuk waktu lama.
Aplikasi fFKM dalam semikonduktor
Dalam produksi semikonduktor, keandalan segel elastomerik sangat penting karena penghentian produksi untuk mengganti segel sangat mahal. Untuk menghindari potensi risiko, persyaratan kebersihan dan kemurnian segel sangat ketat. Pada saat yang sama, segel harus dapat bekerja dalam waktu lama di lingkungan bertekanan tinggi, vakum tinggi, dan gas kimia korosif.
Dalam hal aplikasi semikonduktor, FFKM terutama berfokus pada:
1) Segel gas: Dalam proses produksi semikonduktor, pemrosesan dan pengangkutan berbagai gas sangatlah penting. Cincin O FFKM digunakan untuk menyegel pipa gas, katup, dan sambungan guna memastikan bahwa gas tidak bocor dan menjaga kestabilan proses.
2) Pengetsaan dan pembersihan: Langkah-langkah pengetsaan dan pembersihan dalam proses semikonduktor sering kali melibatkan penggunaan media korosif seperti asam kuat atau alkali. Cincin O FFKM banyak digunakan dalam komponen peralatan yang bersentuhan dengan media ini, seperti ruang pengetsaan, tangki pembersih, dll. karena ketahanannya yang sangat baik terhadap korosi.
3) Transportasi cairan dan kimia: Dalam manufaktur semikonduktor, berbagai cairan dan bahan kimia perlu diangkut, seperti larutan, pelarut, cairan pembersih, dll. Cincin O FFKM dapat digunakan untuk menyegel komponen peralatan seperti pipa, katup, dan pompa untuk memastikan pengiriman media yang aman.
4) Lingkungan suhu tinggi: Langkah-langkah tertentu dalam proses semikonduktor perlu dilakukan dalam lingkungan suhu tinggi, seperti perlakuan panas, anil, dll. Cincin-O FFKM memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik dan mampu mempertahankan elastisitas dan sifat penyegelannya pada suhu tinggi.
5) Pengolahan air ultramurni: Dalam produksi semikonduktor, air ultramurni digunakan untuk membersihkan dan memurnikan peralatan dan material. Cincin-O FFKM banyak digunakan untuk menyegel peralatan pengolahan air ultramurni guna mencegah masuknya kotoran dan kontaminan.
Karena tingginya biaya bahan baku karet FFKM, kondisi kerja tempat segel FFKM biasanya digunakan sangatlah keras. Di bawah kondisi kerja yang keras ini, karet lainnya rentan terhadap korosi, pembengkakan, pelarutan, penuaan dan pengerasan, dll., yang mengakibatkan kegagalan penyegelan dan karenanya tidak dapat memenuhi persyaratan penyegelan. Karena ketahanan korosi dan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, karet FFKM tidak hanya dapat memenuhi persyaratan penyegelan dari kondisi kerja yang keras, tetapi juga meningkatkan masa pakai segel dan mengurangi biaya perawatan pelanggan.
